A股三大指數(shù)高開后震蕩走強(qiáng)，漲幅均超1%。盤面上，科技板塊強(qiáng)勢(shì)上漲，存儲(chǔ)板塊午后再度上攻。截至13點(diǎn)48，人工智能AIETF（515070）漲幅擴(kuò)大至2.31%，其持倉股新易盛、大華股份漲超8%，深信服、光迅科技、協(xié)創(chuàng)數(shù)據(jù)紛紛上漲。

消息面上，北京大學(xué)團(tuán)隊(duì)首次將冷凍電子斷層掃描技術(shù)應(yīng)用于光刻膠微觀行為解析。該技術(shù)成功“定格”并三維重構(gòu)了光刻膠在顯影液中的真實(shí)狀態(tài)，分辨率優(yōu)于5納米，突破了傳統(tǒng)方法無法原位、高分辨率觀測(cè)的局限?；诖?，團(tuán)隊(duì)提出了抑制纏結(jié)與界面捕獲的工藝方案，使12英寸晶圓的光刻缺陷數(shù)量降幅超過99%，且方案與現(xiàn)有產(chǎn)線兼容，為先進(jìn)制程良率提升提供了新方法。

申港證券指出，光刻是整個(gè)集成電路制造過程中耗時(shí)最長(zhǎng)、難度最大的工藝，耗時(shí)占IC制造50%左右，成本約占IC生產(chǎn)成本的1/3。光刻膠是光刻過程最重要的耗材，光刻膠的質(zhì)量對(duì)光刻工藝有著重要影響。

人工智能AIETF（515070）跟蹤C(jī)S人工智能主題指數(shù)（930713），成分股選取為人工智能提供技術(shù)、基礎(chǔ)資源以及應(yīng)用端個(gè)股，聚集人工智能產(chǎn)業(yè)鏈上中游，俗稱“機(jī)器人”大腦“締造者”，萬物互聯(lián)“地基”。前十大權(quán)重股包括中際旭創(chuàng)、新易盛、寒武紀(jì)-U、中科曙光、科大訊飛、豪威集團(tuán)、?？低?、瀾起科技、金山辦公、紫光股份等國內(nèi)科技龍頭。

相關(guān)產(chǎn)品：人工智能AIETF（515070）、創(chuàng)業(yè)板軟件ETF華夏（159256）、創(chuàng)業(yè)板200ETF華夏（159573） 。